[实用新型]一种研磨垫安装时的气泡消除装置有效
| 申请号： | 201620996168.7 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206105652U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 罗方;周小云 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨垫安装时的气泡消除装置，通过在研磨盘表面设置密布的气孔，并通过其连通的真空管路进行抽真空，可将研磨垫与研磨盘之间的气体全部吸走，使研磨垫完全平整地与研磨盘接触，从而可有效消除安装时在研磨垫和研磨盘之间出现的气泡问题，并因此减少保养失败率，省去研磨垫的重新更换，节省资本和减少晶圆厚度差值，提高良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 安装 气泡 消除 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫安装时的气泡消除装置，其特征在于，包括：多数个气孔，密布于化学机械研磨设备的研磨盘表面；真空管路，设于研磨盘下方，并连通所述气孔；在将所述研磨垫平放在研磨盘表面上时，通过对真空管路抽真空，并通过气孔将研磨垫与研磨盘之间的气体全部吸走，使研磨垫完全平整地与研磨盘接触以消除气泡。
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