[实用新型]一种机械手有效
| 申请号： | 201620992089.9 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206048183U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 马方波;吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;B25J13/08;B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种机械手，包括运动模组和与所述运动模组中的运动轴连接的版叉臂，还包括设于所述版叉臂末端的应变传感器，以及分别与所述应变传感器和运动模组中运动轴连接的控制单元。本实用新型通过在版叉臂的末端设置应变传感器，测量版叉臂在加载掩模版或版盒前后的形变量差值，将该形变量差值与允许的最大形变量进行比较，当该形变量差值大于允许的最大形变量时，通过控制单元控制运动模组带动版叉臂和掩模版或版盒向上移动，从而消除了由于版叉臂负载变形带来的掩模版或版盒在传输过程中受碰撞的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 | ||
【主权项】：
一种机械手，包括运动模组和与所述运动模组中的运动轴连接的版叉臂，其特征在于，还包括设于所述版叉臂末端的应变传感器，以及分别与所述应变传感器和运动模组中运动轴连接的控制单元。
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