[实用新型]一种射频二氧化碳激光器

摘要

本实用新型公开了一种射频二氧化碳激光器，包括射频电源腔（3）、激光谐振腔（6）和射频馈头（1），所述的射频馈头（1）包括中心铜柱（11），在中心铜柱（11）的外侧套置有陶瓷绝缘筒（14），陶瓷绝缘筒（14）的底端和中心铜柱（11）的底部共同采用馈头固定环（15）固定，陶瓷绝缘筒（14）的上部套置有内套筒（13），内套筒（13）的上部套置有外套筒（12），中心铜柱（11）的外壁与陶瓷绝缘筒（14）、内套筒（13）和外套筒（12）的内壁之间的绝缘间隙依次扩大。本实用新型的射频馈头本身以及安装后的密封性好、绝缘性强且不受温度变化的影响，保证激光谐振腔中工作气体的配比和气压稳定，延长激光器使用寿命。

主权项

一种射频二氧化碳激光器，包括射频电源腔（3）和激光谐振腔（6），射频馈头（1）固定在激光谐振腔（6）的顶部并依次穿过射频电源腔（3）的底部、射频电源板（2）上的通孔与射频电源输出端相连接，其特征在于：所述的射频馈头（1）包括中心铜柱（11），在中心铜柱（11）的外侧套置有陶瓷绝缘筒（14），陶瓷绝缘筒（14）的底端和中心铜柱（11）的底部共同采用馈头固定环（15）固定，陶瓷绝缘筒（14）的上部套置有内套筒（13），内套筒（13）的上部套置有外套筒（12），中心铜柱（11）的外壁与陶瓷绝缘筒（14）、内套筒（13）和外套筒（12）的内壁之间的绝缘间隙依次扩大。