[实用新型]一种光刻机预对准系统校准工具有效
| 申请号： | 201620938203.X | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN205910497U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 牟宏惺 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰,胡川 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种光刻机预对准系统校准工具，包括圆形金属薄片，所述圆形金属薄片边沿均匀开设4个缺口，所述缺口为V型，且缺口的顶角指向圆心，所述圆形金属薄片的直径不大于6寸，所述圆形金属薄片厚度为630~700 um,翘曲度小于20um，所述缺口开口大小1~2mm。本实用新型的有益效果是采用价格便宜的金属薄片取代成本昂贵的易坏易碎的硅片或者砷化镓晶圆，有效的降低成本，达到不易损坏的效果；设有4个缺口，能够达到高的预对准测量精度，精确确定晶圆中心位置；本产品价格便宜，实用性强，易于推广使用，促进行业发展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 对准 系统 校准 工具 | ||
【主权项】：
一种光刻机预对准系统校准工具，其特征在于：包括圆形金属薄片，所述圆形金属薄片边沿均匀开设4个缺口，所述缺口为V型，且缺口的顶角指向圆心，所述圆形金属薄片的直径不大于6寸，所述圆形金属薄片厚度为630~700 um, 翘曲度小于20um。
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