[实用新型]校正装置及晶圆传送装置有效
| 申请号： | 201620910568.1 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN205881886U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种校正装置及晶圆传送装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。本实用新型通过提供一校正装置，为所述晶圆传送装置中所述机械手臂的调整提供一参照物，能够直观、更准确的调整所述机械手臂使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品试验来反复调整机械手臂，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 装置 传送 | ||
【主权项】：
一种校正装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，其特征在于，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。
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