[实用新型]一种大功率离子源弧电源反馈控制系统有效
| 申请号： | 201620896986.X | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN206022303U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 蒋才超;谢亚红;胡纯栋;陈世勇;梁立振;刘智民;刘胜;许永建;谢远来 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/248 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人： | 张巧 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大功率离子源弧电源反馈控制系统，其主要目的是满足大功率热阴极离子源在不同时期对弧电源的不同控制的需求。本系统主要通过不同变量的反馈控制模式来实现，包括由弧电源输出电压反馈、输出电流反馈和探针反馈三路独立的闭环反馈控制回路，其反馈值分别与由总控发出的电压设置、电流设置和探针设置进行比较放大，产生误差信号进入PID组成的运算调节单元形成控制信号，送入弧电源控制器，控制调节弧电源输出，从而达到控制离子源等离子体放电的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 离子源 电源 反馈 控制系统 | ||
【主权项】：
一种大功率离子源弧电源反馈控制系统，所述的大功率离子源为热阴极离子源，所述的弧电源由弧电源控制器控制，其特征在于：分别对弧电源的输出电压、电流以及安装于弧室内的六路探针信号采样，获得电压采样反馈信号、电流采样反馈信号以及探针反馈信号，将电压采样反馈信号、电流采样反馈信号以及探针反馈信号与总控系统发出的电压设置、电流设置和探针设置进行比较放大，其误差信号经由PID组成的运算调节单元处理后输出至弧电源输出控制器，来实现弧电源输出的闭环反馈控制，从而达到大功率热阴极离子源等离子体放电控制的目的。
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