[实用新型]一种操作石英花篮的石英钩有效
| 申请号： | 201620896175.X | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN206116365U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 闫鑫;宋运康;赵坤帅;张方媛;王军强 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及微电子刻蚀工艺工装，具体地说是一种用于操作石英花篮的石英钩。所述的石英钩包括钩杆(2)，钩杆(2)包括右分支(9b)和左分支(9a)，右分支(9b)和左分支(9a)的末端分别设置有钩位，其特征为所述的右分支(9b)和左分支(9a)上设置有T型结构，T型结构位于向上的弯钩部上方，T型结构与右分支(9b)和左分支(9a)形成上钩位和下钩位。通过增加T型结构形成上下两组钩位分别上钩位和下钩位使石英钩操作更为便利，不仅提高石英钩操作成功率，同时缩短石英钩拾取石英花篮的时间，降低腐蚀性化学溶液的侵害，适宜推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 操作 石英 花篮 | ||
【主权项】：
一种操作石英花篮的石英钩，所述的石英钩包括钩杆(2)，钩杆(2)包括右分支(9b)和左分支(9a)，右分支(9b)和左分支(9a)的末端分别设置有钩位，其特征为：所述的右分支(9b)和左分支(9a)上设置有T型结构，T型结构位于向上的弯钩部上方，T型结构与右分支(9b)和左分支(9a)形成上钩位和下钩位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
