[实用新型]一种物理气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种物理气相沉积设备，所述箱体通过支柱与万向轮固定连接，所述箱体的正面上方镶嵌有显示屏，所述箱体正面的下方设有压力表，所述箱体的内部底端设有真空泵，所述真空泵通过连接管与真空室连通，所述真空室的侧壁上设有烘干器，所述真空室的底部从左到右依次设有雾化器、旋转式蒸发器和清洗器，所述旋转式蒸发器通过导线与PLC控制器电性连接，所述真空室的顶部设有基片槽，所述真空泵、显示屏和烘干器分别通过导线与PLC控制器电性连接，所述清洗器通过雾化器与PLC控制器电性连接。该实用新型设计科学合理、不仅沉积的效率高，而且比较均匀，可以实现该设备自由移动，不受工作地点的约束，操作简单，实用性强，值得大力推广。

主权项

一种物理气相沉积设备，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）通过支柱（6）与万向轮（4）固定连接，所述箱体（1）的正面上方镶嵌有显示屏（8），所述箱体（1）正面的下方设有压力表（5），所述箱体（1）的内部底端设有真空泵（12），所述真空泵（12）通过连接管（11）与真空室（16）连通，所述真空室（16）的侧壁上设有烘干器（9），所述真空室（16）的底部从左到右依次设有雾化器（10）、旋转式蒸发器（14）和清洗器（15），所述旋转式蒸发器（14）通过导线与PLC控制器（13）电性连接，所述真空室（16）的顶部设有基片槽（17），所述真空泵（12）、显示屏（8）和烘干器（9）分别通过导线与PLC控制器（13）电性连接，所述清洗器（15）与PLC控制器（13）电性连接。