[实用新型]一种集成片式氧传感器

摘要

本申请提供了一种集成片式氧传感器，包括氧化锆基体、多孔保护层、陶瓷绝缘层和加热层，所述氧化锆基体的上方设有多孔保护层，所述氧化锆基体的下方设有陶瓷绝缘层，所述陶瓷绝缘层的下方设有加热层，所述氧化锆基体和陶瓷绝缘层之间设置有参比气层，所述参比气层内设置有通气体和扩散孔，所述通气体包括基体和设置在基体上的若干个参比气孔，所述多孔保护层内设置有若干个透气孔。本申请提供的集成片式氧传感器，由于所述透气孔的周围设置有若干个过滤孔，因而可以有效过滤掉检测气体中的杂质，防止过滤孔被堵塞，保证了灵敏度；由于相邻两个参比气孔之间设置有第一参比气通道，因而检测气体流通顺畅，使得检测结果可靠性高。

主权项

一种集成片式氧传感器，包括氧化锆基体（1）、多孔保护层（2）、陶瓷绝缘层（3）和加热层（5），其特征在于，所述氧化锆基体（1）的上方设有多孔保护层（2），所述氧化锆基体（1）的下方设有陶瓷绝缘层（3），所述陶瓷绝缘层（3）的下方设有加热层（5），所述氧化锆基体（1）和陶瓷绝缘层（3）之间设置有参比气层（4），所述参比气层（4）内设置有通气体（41）和扩散孔（42），所述通气体（41）包括基体（411）和设置在基体（411）上的若干个参比气孔（413），所述多孔保护层（2）内设置有若干个透气孔（21），若干个参比气孔（413）设置在扩散孔（42）的周围，相邻两个参比气孔（413）之间设置有第一参比气通道（412），所述透气孔（21）的周围设置有若干个过滤孔（22），所述过滤孔（22）和透气孔（21）之间设置有气流道（23）。