[实用新型]非接触式光罩或晶圆洁净装置

摘要

本实用新型涉及一种非接触式光罩或晶圆洁净装置，其是在一机体上设有一供承载光罩或晶圆的载台模块，且机体内设有一高压产生模块及一真空鼓风模块，又机体上设有至少一与载台模块相对位移的清洁头，该清洁头对应至少一连通真空鼓风模块的真空腔，该清洁头具有一连通高压气体产生模块的压力腔，且该清洁头设有至少一空气振荡波产生器，如此，能利用喷出的高压气体中具有高频空气振荡波的设计破坏微尘的境界层，使微尘与光罩或晶圆表面剥离，再通过真空方式于微尘被高频空气震荡波分离后抽离，由于采用非接触式清洁方式，不致造成刮伤或二次污染，且能有效提升清洁效果。

主权项

一种非接触式光罩或晶圆洁净装置，其特征在于，其至少包含有：一机体；一载台模块，其设于机体上，供承载一待清洁的光罩或晶圆；至少一超音波清洁模块，其设于机体上，该至少一超音波清洁模块与该载台模块上待清洁光罩或晶圆的表面能够相对位移，该超音波清洁模块包含有一对应待清洁光罩或晶圆表面的清洁头、一高压产生模块与一真空鼓风模块，该清洁头具有一连通高压气体产生模块的压力腔，且该清洁头对应至少一连通真空鼓风模块的真空腔，再者该清洁头具有一对应光罩或晶圆表面的工作表面，该工作表面上具有至少一连接真空腔的吸入槽孔，该清洁头的工作表面上具有至少一连接压力腔、且设于该至少一吸入槽孔所围范围内的喷射槽孔。