[实用新型]蚀刻设备及其蚀刻装置有效
| 申请号： | 201620835149.6 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN205881882U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314 | 代理人： | 张约宗 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻设备及其蚀刻装置，该蚀刻装置包括机架以及喷液装置，该机架包括用于收容蚀刻液的蚀刻腔以及水平贯穿该蚀刻腔的输送通道，该喷液装置安装于该机架内与该输送通道正对；该喷液装置包括上喷液单元以及与该上喷液单元连成一体的下喷液单元，该上喷液单元位于该输送通道上方且向下正对该输送通道，该下喷液单元位于该输送通道下方且向上正对该输送通道。本实用新型的蚀刻装置中，由于喷液装置的上喷液单元与下喷液单元为连成一体的构造，为周边配套装置的安装提供了便利。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 设备 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种蚀刻设备用蚀刻装置，包括机架(1)以及喷液装置(3)，该机架(1)包括用于收容蚀刻液的蚀刻腔(11)以及水平贯穿该蚀刻腔(11)的输送通道(12)，该喷液装置(3)安装于该机架(1)内与该输送通道(12)正对；其特征在于：该喷液装置(3)包括上喷液单元以及与该上喷液单元连成一体的下喷液单元，该上喷液单元位于该输送通道(12)上方且向下正对该输送通道(12)，该下喷液单元位于该输送通道(12)下方且向上正对该输送通道(12)。
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