[实用新型]一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置有效
| 申请号： | 201620807709.7 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN205845899U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;杨培林;金懿 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;C23C16/513 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置，通过在机台RF路径中的RF电感线圈外部设置绝缘保护体，包括利用包覆于RF电感线圈表面的绝缘保护层或罩于RF电感线圈外部的绝缘保护套形式，将RF电感线圈与RF路径外部相隔离，既可以避免RF电感线圈与非RF路径的导体接触，从而可有效防止RF电感线圈被电弧击伤，同时又不会影响RF路径内部的电阻，从而可持续稳定地提供满足工艺所要求的RF能量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 机台 rf 电感线圈 电弧 击伤 装置 | ||
【主权项】：
一种用于机台RF电感线圈的防电弧击伤装置，所述RF电感线圈裸露设于机台的RF发生系统中，其两端分别连接至RF发生器和机台腔体中的电极，形成RF路径，其特征在于，所述防电弧击伤装置包括设于RF电感线圈外部的绝缘保护体，所述绝缘保护体至少将所述RF电感线圈与RF路径外部相隔离。
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