[实用新型]一种扫描隧道显微镜的扫描结构有效
| 申请号： | 201620788878.0 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN205809105U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张磊 | 申请（专利权）人： | 苏州衡微仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫;徐伟华 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描隧道显微镜的扫描结构，包括基座、沿水平方向可拆卸地安装在所述基座上的探针安装台，所述扫描结构还包括若干电极组，每个所述电极组均包括沿竖直方向插设在所述探针安装台上的电极、安装在所述基座上且位于所述探针安装台下方的弹性件，所述弹性件抵压在所述电极上，所述弹性件具有导电性能且与所述基座相绝缘设置。本实用新型的扫描机构，通过设置具有导电性能的弹性件，不仅简单、有效地将探针安装台进行了固定，确保了在检测过程中，探针不会发生位移，提高了检测数据的精确性，同时还与电极相导通，为探针提供了更多的实验条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 隧道 显微镜 结构 | ||
【主权项】：
一种扫描隧道显微镜的扫描结构，其特征在于，包括基座、沿水平方向可拆卸地安装在所述基座上的探针安装台，所述扫描结构还包括若干电极组，每个所述电极组均包括沿竖直方向插设在所述探针安装台上的电极、安装在所述基座上且位于所述探针安装台下方的弹性件，所述弹性件抵压在所述电极上，所述弹性件具有导电性能且与所述基座相绝缘设置。
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