[实用新型]一种摇摆式硅片清洗槽

摘要

本实用新型涉及一种摇摆式硅片清洗槽。当前，企业在对硅片进行超声波清洗时，均采用人工送料的方式，这种方式使得人为性质的不确定因素较大，存在较大误差，同时容易导致硅片破裂，存在不足。本实用新型涉及一种摇摆式硅片清洗槽，其中壳体内部设有横梁，横梁与电机固定连接，电机与曲柄固定连接，曲柄通过导向套与摇杆连接，摇杆与固定板接，液压缸内壁与活塞连接，活塞与活塞杆固定连接，活塞杆与固定板连接，固定板与真空泵固定连接，真空泵通过真空管与真空吸盘连通。本装置采用摇摆式推进送料的方式，代替人工操作，避免人为性质的不确定因素对硅片造成破坏，有利于提高成品率。

主权项

一种摇摆式硅片清洗槽，包括电机（1）、曲柄（2）、导向套（3）、摇杆（4）、液压缸（5）、活塞（6）、活塞杆（7）、壳体（8）、固定板（9）、真空管（10）、真空泵（11）、真空吸盘（12）、支架（13）、超声波振子（14）、槽体（15）、横梁（16）；其特征在于：超声波振子（14）与槽体（15）固定连接，槽体（15）与支架（13）固定连接，支架（13）与壳体（8）固定连接，壳体（8）内部设有横梁（16），横梁（16）与电机（1）固定连接，电机（1）与曲柄（2）固定连接，曲柄（2）通过导向套（3）与摇杆（4）连接，摇杆（4）与固定板（9）连接，液压缸（5）内壁与活塞（6）连接，活塞（6）与活塞杆（7）固定连接，活塞杆（7）与固定板（9）连接，固定板（9）与真空泵（11）固定连接，真空泵（11）通过真空管（10）与真空吸盘（12）连通。