[实用新型]一种新型硅晶板烘烤箱有效
| 申请号： | 201620766712.9 | 申请日： | 2016-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN205897815U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 顾斌 | 申请（专利权）人： | 上海勤达科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B23/10 | 分类号： | F26B23/10;F26B9/06;F26B21/10 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙)11265 | 代理人： | 倪钜芳 |
| 地址： | 201518 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型硅晶板烘烤箱，属于硅晶板干燥领域，包括烤箱箱体，所述烤箱箱体内腔通过隔板分别设有硅片盛放箱与加热箱，所述硅片盛放箱一侧通过铰链连接密封门，所述硅片盛放箱内腔底部设有滑道，所述滑道上设有硅片固定架，所述加热箱内腔底部设有加热管，所述加热管一侧设有风机，所述烤箱箱体一侧连接烤箱后盖，所述烤箱后盖为中空结构，烤箱箱体与烤箱后盖贯通连接，风机和加热管下置，利用烤箱后盖板结构上的设计来导流，让热流流入硅片盛放箱需要烘烤的产品位置，硅片盛放箱和加热箱之间有个通孔，形成热流循环利用，通过温度控制器感应温度，并将信号传送至控制器，控制加热管与风机的运行，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅晶板烘 烤箱 | ||
【主权项】：
一种新型硅晶板烘烤箱，包括烤箱箱体(1)，其特征在于，所述烤箱箱体(1)内腔通过隔板(2)分别设有硅片盛放箱(3)与加热箱(4)，所述硅片盛放箱(3)一侧通过铰链连接密封门(5)，所述硅片盛放箱(3)内腔底部设有滑道(6)，所述滑道(6)上设有硅片固定架(7)，所述加热箱(4)内腔底部设有加热管(8)，所述加热管(8)一侧设有风机(9)，所述烤箱箱体(1)一侧连接烤箱后盖(10)，所述烤箱后盖(10)为中空结构，所述烤箱箱体(1)与烤箱后盖(10)贯通连接，所述隔板(2)上还设有长孔(11)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海勤达科技有限公司，未经上海勤达科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620766712.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
