[实用新型]一种化学沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种化学沉积设备，包括药液槽和设于所述药液槽内的传输机构，所述传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮和下输送滚轮，该化学沉积设备还包括设于所述药液槽内、位于该些下输送滚轮的下方、并沿该些下输送滚轮的轴向设置的复数个搅动装置，所述搅动装置包括一基体和固设于所述基体上的至少一片叶片，当所述叶片在外力作用下于所述药液槽内360度旋转时，所述药液槽内的药液产生涌动。本实用新型增加了搅动装置，通过搅动装置在药液槽内旋转从而使得药液产生大面积的涌动力，进而提高沉积速率，提升沉积的效果。

主权项

一种化学沉积设备，包括药液槽和设于所述药液槽内的传输机构，所述传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮和下输送滚轮，其特征在于，该化学沉积设备还包括设于所述药液槽内、位于该些下输送滚轮的下方、并沿该些下输送滚轮的轴向设置的复数个搅动装置，所述搅动装置包括一基体和固设于所述基体上的至少一片叶片，当所述叶片在外力作用下于所述药液槽内360度旋转时，所述药液槽内的药液产生涌动。