[实用新型]一种晶圆烘烤晶周盒有效
| 申请号： | 201620712489.X | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN205863152U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214072 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆烘烤晶周盒，其包括相对设置的第一侧壁、第二侧壁及连接所述第一侧壁和所述第二侧壁的第三侧壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁的内壁上竖直设有多条用于插放晶圆的插槽，所述第一侧壁及所述第二侧壁的内壁下端分别设有支撑晶圆下端的晶圆挡杆，其特征在于：所述第三侧壁的四角上分别设有用于连接所述第一侧壁及所述第二侧壁的第一安装孔及第二安装孔，水平方向的两个所述第一安装孔之间形成较大的第一安装距，水平方向的两个所述第二安装孔之间形成较小的第二安装距。本实用新型能够实现两种不同尺寸的晶圆的储存，提升了晶圆周盒的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 晶周盒 | ||
【主权项】：
一种晶圆烘烤晶周盒，其包括相对设置的第一侧壁、第二侧壁及连接所述第一侧壁和所述第二侧壁的第三侧壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁的内壁上竖直设有多条用于插放晶圆的插槽，所述第一侧壁及所述第二侧壁的内壁下端分别设有支撑晶圆下端的晶圆挡杆，其特征在于：所述第三侧壁的四角上分别设有用于连接所述第一侧壁及所述第二侧壁的第一安装孔及第二安装孔，水平方向的两个所述第一安装孔之间形成较大的第一安装距，水平方向的两个所述第二安装孔之间形成较小的第二安装距。
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