[实用新型]一种应用于检测单晶硅锭缺陷的荧光成像系统

摘要

一种应用于检测单晶硅锭缺陷的荧光成像系统，它是一种检测半导体单晶中缺陷的系统，包括了大功率光纤耦合激光器1、光束整形系统2、荧光成像系统3、成像扫描系统4、样品运动控制系统5，防护系统7，综合控制器8、和电脑9。其有益效果为首先增加荧光的亮度，提高信噪比，有效的查出不合格的硅锭，其次利用红外线阵相机，提高扫描速度。

主权项

一种应用于检测单晶硅锭缺陷的荧光成像系统，其特征在于包括：用于激发硅锭表面的荧光的光纤耦合激光器；用于将点光源转化为线光源的光束整形系统，光学整形系统和光纤耦合激光器用光纤连接，将激光器产生的激光光斑变成激光线；用于检测单晶硅锭荧光的成像系统，该成像系统包括成像镜头，红外滤光镜以及红外线阵相机，三者依次连接；用于控制成像位置的扫描控制系统，它控制激光线和成像系统在硅锭表面进行扫描，即成像系统和光束整形系统安装在扫描系统的扫描平台上；用于控制样品进行旋转的样品运动控制系统，包括一维平移运动和一维旋转运动；用于防护激光辐射的防护系统，将光束整形系统、样品、成像系统，扫描系统，样品运动系统封在一个空间，成像扫描系统和样品控制系统安装在防护系统的底面上；用于控制扫描控制系统，样品运动系统的综合控制器，和成像扫描系统，样品控制系统用电缆连接，提供运动的电能；用于控制激光器，成像系统，以及综合控制器的电脑软件，用于将线阵相机的像变成二维图像，电脑和成像系统、成像扫描系统、样品控制系统用电缆连接。