[实用新型]一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置有效

专利信息
申请号: 201620674447.1 申请日: 2016-06-30
公开(公告)号: CN205809403U 公开(公告)日: 2016-12-14
发明(设计)人: 宁高荣;邓海昕;江正发;龚启宏 申请(专利权)人: 成都先进功率半导体股份有限公司
主分类号: G02B21/24 分类号: G02B21/24
代理公司: 四川力久律师事务所51221 代理人: 王芸;熊晓果
地址: 611731 四川省成都市高*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型涉及一种芯片生产装置,具体涉及一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置,包括底座和设置在底座上的支撑杆,所述底座为板状结构,其一端为固定端、另一端为支撑端,在固定端的板面上设置有多个用于将其安装在抽检机上的安装孔,所述支撑杆设置在支撑端上,该装置还设置有用于连接支撑杆和显微镜的连接部件。该装置能使显微镜位置稳定,减少震动、焦距稳定,保证芯片的抽检效果。
搜索关键词: 一种 芯片 抽检 显微 镜台 翻转 装置
【主权项】:
一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置,其特征在于,包括底座和设置在底座上的支撑杆,所述底座为板状结构,其一端为固定端、另一端为支撑端,在固定端的板面上设置有多个用于将其安装在抽检机上的安装孔,所述支撑杆设置在支撑端上,该装置还设置有用于连接支撑杆和显微镜的连接部件。
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