[实用新型]一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置有效
申请号: | 201620674447.1 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN205809403U | 公开(公告)日: | 2016-12-14 |
发明(设计)人: | 宁高荣;邓海昕;江正发;龚启宏 | 申请(专利权)人: | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
主分类号: | G02B21/24 | 分类号: | G02B21/24 |
代理公司: | 四川力久律师事务所51221 | 代理人: | 王芸;熊晓果 |
地址: | 611731 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种芯片生产装置,具体涉及一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置,包括底座和设置在底座上的支撑杆,所述底座为板状结构,其一端为固定端、另一端为支撑端,在固定端的板面上设置有多个用于将其安装在抽检机上的安装孔,所述支撑杆设置在支撑端上,该装置还设置有用于连接支撑杆和显微镜的连接部件。该装置能使显微镜位置稳定,减少震动、焦距稳定,保证芯片的抽检效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 抽检 显微 镜台 翻转 装置 | ||
【主权项】:
一种芯片抽检机防显微镜台翻转装置,其特征在于,包括底座和设置在底座上的支撑杆,所述底座为板状结构,其一端为固定端、另一端为支撑端,在固定端的板面上设置有多个用于将其安装在抽检机上的安装孔,所述支撑杆设置在支撑端上,该装置还设置有用于连接支撑杆和显微镜的连接部件。
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