[实用新型]一种双风道硅片干燥机

摘要

本实用新型涉及一种双风道硅片干燥机。当前，企业在对硅片进行干燥加工时采用的干燥机效率均较低，不能在短时间内对大量的硅片进行快速干燥，跟不上企业快节奏的生产，存在不足。本实用新型涉及一种双风道硅片干燥机，其中主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮与传送轮同轴连接，传送轮与传送带连接，机体顶部设有排气管，机体内壁与隔板固定连接，隔板设有气孔，进气口与风机连通，风机通过进气管与加热器了，加热器与第一风道、第二风道连通。本装置采用双风道结构，提高进风效率与出风效率，进而提高干燥效率，为企业带来更大的经济效益。

主权项

一种双风道硅片干燥机，包括机体（1）、电机（2）、主动带轮（3）、传动带（4）、从动带轮（5）、传送轮（6）、传送带（7）、排气管（8）、气孔（9）、隔板（10）、第一风道（11）、加热器（12）、进气管（13）、风机（14）、进气口（15）、第二风道（16）；其特征在于：机体（1）与电机（2）固定连接，电机（2）与主动带轮（3）同轴连接，主动带轮（3）通过传动带（4）与从动带轮（5）连接，从动带轮（5）与传送轮（6）同轴连接，传送轮（6）与传送带（7）连接，机体（1）顶部设有排气管（8），机体（1）内壁与隔板（10）固定连接，隔板（10）设有气孔（9），进气口（15）与风机（14）连通，风机（14）通过进气管（13）与加热器（12）了，加热器（12）与第一风道（11）、第二风道（16）连通。