[实用新型]管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置有效
| 申请号： | 201620652726.8 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN205856604U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置，包括石墨舟输送装置、工艺点推出装置和工艺点收纳装置，工艺点推出装置设置在石墨舟输送装置的正上方，工艺点收纳装置可拆卸安装在石墨舟输送装置的正下方。本实用新型包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，在石墨舟固定夹具上安装固定好装有工艺点的石墨舟后，使用移动装置将固定好的石墨舟移动到导向板的正下方，导向板通过升降装置下移到与石墨舟上工艺点的上表面接触，最后通过工艺点推出装置将工艺点推出石墨舟的工艺孔，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了拆卸效率，提高了劳动生产率。 | ||
| 搜索关键词： | pecvd 石墨 工艺 拆卸 装置 | ||
【主权项】：
一种管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置，其特征在于：包括石墨舟输送装置、工艺点推出装置和工艺点收纳装置，所述工艺点推出装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方，所述工艺点收纳装置可拆卸安装在所述石墨舟输送装置的正下方；所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上；所述石墨舟固定夹具包括底板(1)，所述底板(1)上固定安装有安装块(2)，所述安装块(2)上开有直角开口(3)，两个所述安装块(2)对称设置，所述底板(1)上开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉(4)，所述底板(1)上开有若干与石墨舟(18)上的工艺孔相对应的工艺通孔(5)；所述工艺点推出装置包括导向装置和推出装置，所述导向装置与所述推出装置相对设置；所述导向装置包括导向板(6)和驱动导向板(6)升降的升降装置，所述导向板(6)固定安装在所述升降装置上，所述导向板(6)上开有若干导向孔(7)，若干所述导向孔(7)与石墨舟(18)上的工艺孔相对应；所述推出装置包括推板(9)和驱动推板(9)升降的升降装置，所述推板(9)固定安装在所述升降装置上，所述推板(9)上固定安装有若干与石墨舟(18)上的工艺孔相对应的推杆(10)，所述推杆(10)与所述导向孔(7)同轴心。
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