[实用新型]一种阀门装置有效
| 申请号： | 201620640927.6 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205780970U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 吴远征 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K37/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种阀门装置，至少包括：气缸、滑杆、进/出气端气源分流模块、第一气压感应开关以及第二气压感应开关；所述滑杆穿过所述气缸且沿所述气缸轴线方向来回滑动；所述进气端气源分流模块设置在所述气缸上，通过所述进气端气源分流模块来控制单位时间内进入所述气缸的进气量；所述出气端气源分流模块设置在所述气缸上，通过所述出气端气源分流模块来控制单位时间内排出所述气缸的出气量；所述第一气压感应开关、所述第二气压感应开关分别设置在所述气缸上部和下部，用来侦测所述气缸中上、下部是否通气。本实用新型的阀门装置可以实时指示气源的存在位置，并且通过设置所述进、出气端气源分流模块进气量、出气量的配比，实现所述气缸中滑杆速度的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阀门 装置 | ||
【主权项】：
一种阀门装置，其特征在于，所述阀门装置至少包括：气缸、滑杆、进气端气源分流模块、出气端气源分流模块、第一气压感应开关以及第二气压感应开关；所述滑杆穿过所述气缸且沿所述气缸轴线方向来回滑动；所述进气端气源分流模块设置在所述气缸上，通过所述进气端气源分流模块来控制单位时间内进入所述气缸的进气量；所述出气端气源分流模块设置在所述气缸上，通过所述出气端气源分流模块来控制单位时间内排出所述气缸的出气量；所述第一气压感应开关设置在所述气缸上部，侦测所述气缸中上部是否通气；所述第二气压感应开关设置在所述气缸下部，侦测所述气缸中下部是否通气。
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