[实用新型]光刻胶用量监控系统有效
| 申请号： | 201620630173.6 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN205719198U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 赵敏敏 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01G17/04 | 分类号： | G01G17/04;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶用量监控系统，用于对光刻胶的用量进行实时监测，包括用于检测所述光刻胶重量的重量检测模块、对所述重量检测模块的用量信号进行采集的数据采集模块、数据传送模块以及接收所述数据传送模块传递的所述用量信号并对所述光刻胶的用量进行汇总的控制模块，所述数据采集模块与所述重量检测模块连接，所述数据传送模块与所述数据采集模块信号连接，所述控制模块与所述数据传送模块信号连接。本实用新型的光刻胶用量监控系统通过实时测量所述光刻胶的重量，可以准确地检测光刻胶的用量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 用量 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻胶用量监控系统，用于对光刻胶的用量进行实时监测，其特征在于，包括用于检测所述光刻胶重量的重量检测模块、对所述重量检测模块的用量信号进行采集的数据采集模块、数据传送模块以及接收所述数据传送模块传递的所述用量信号并对所述光刻胶的用量进行汇总的控制模块，所述数据采集模块与所述重量检测模块连接，所述数据传送模块与所述数据采集模块信号连接，所述控制模块与所述数据传送模块信号连接。
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