[实用新型]扩散石英舟有效
申请号: | 201620628026.5 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN205692809U | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 邹凯;和江变;周国华;马承鸿;李健 | 申请(专利权)人: | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 阚梓瑄;乔彬 |
地址: | 010111 内蒙古*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开一种扩散石英舟,其包括两块端框、至少一根底支撑杆以及多根侧固定杆;两块端框竖直设置且沿一第一水平方向间隔排列;至少一根底支撑杆水平连接于两块端框的底部之间,底支撑杆的一上表面开设有多个沿第一水平方向间隔排列的第一卡槽;多根侧固定杆包括至少一根左侧固定杆及至少一根右侧固定杆,左侧固定杆水平连接于两块端框的左侧之间;右侧固定杆水平连接于两块端框的右侧之间,侧固定杆朝向端框的一侧面开设有多个沿其延伸方向间隔排列的第二卡槽;其中,多个第一卡槽与多个第二卡槽共同界定出水平间隔分布的多个放置空间,以分别放置多块硅片。本实用新型对扩散方阻的均匀性有较大的改善,同时提高了电池片的转换效率。 | ||
搜索关键词: | 扩散 石英 | ||
【主权项】:
一种扩散石英舟(300),用于放置多块硅片,其特征在于,所述扩散石英舟(300)包括:两块端框(310,320),竖直设置且沿一第一水平方向间隔排列;至少一根底支撑杆(330),水平连接于所述两块端框(310,320)的底部之间,所述底支撑杆(330)的一上表面开设有多个沿所述第一水平方向间隔排列的第一卡槽(3301);以及多根侧固定杆,包括至少一根左侧固定杆(341)及至少一根右侧固定杆(342),所述左侧固定杆(341)水平连接于所述两块端框(310,320)的左侧之间;所述右侧固定杆(342)水平连接于所述两块端框(310,320)的右侧之间,所述侧固定杆朝向所述端框(310)的一侧面开设有多个沿其延伸方向间隔排列的第二卡槽(3401);其中,所述多个第一卡槽(3301)与所述多个第二卡槽(3401)共同界定出水平间隔分布的多个放置空间,以分别放置所述多块硅片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造