[实用新型]一种光分路器晶圆盖板夹具和去气泡装置有效
| 申请号： | 201620627762.9 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN205982759U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈朋;焦言伟 | 申请（专利权）人： | 北京华光浩阳科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/44 | 分类号： | G02B6/44 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电气配件领域，具体为一种光分路器晶圆盖板夹具和去气泡装置，包括光分路器主体和真空烤箱，所述真空烤箱的内腔底部固定安装有定位块，所述光分路器主体的下部两侧均开设有定位块相对应的定位滑槽，该光分路器晶圆盖板夹具和去气泡装置，通过加入将盖板以及光分路器主体部分开设限位凹槽和限位凸块的方式，使得盖板的安装可通过限位凹槽进行卡接，使得分离的该板之间连接成为一个整体，使得结构更加牢固，同时通过在盖板的外侧端加设限位块的方式，通过与限位块滑动卡接的L形限位件，对玻璃进行卡接，使得整体结构更加紧密方便人们使用，同时通过加入真空烤箱，对粘接后的产品进行加热抽真空，进行去气泡处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分路 器晶圆 盖板 夹具 气泡 装置 | ||
【主权项】：
一种光分路器晶圆盖板夹具和去气泡装置，包括光分路器主体(1)和真空烤箱(12)，其特征在于：所述真空烤箱(12)的内腔底部固定安装有定位块(13)，所述光分路器主体(1)的下部两侧均开设有定位块(13)相对应的定位滑槽(14)，所述真空烤箱(12)通过定位块(13)和定位滑槽(14)滑动安装光分路器主体(1)，所述光分路器主体(1)的内部开设有多个限位槽(2)，所述限位槽(2)的内部滑动卡接有多个晶圆(3)，每个晶圆(3)的上方均滑动卡接有盖板(4)，所述盖板(4)分为第一盖板(5)和第二盖板(6)，所述第一盖板(5)的一侧和第二盖板(6)的两侧均固定安装有限位凸块(7)，所述第一盖板(5)的另一侧和光分路器主体(1)的两内侧壁的上部均设置有与限位凸块(7)相对应的限位凹槽(8)，所述盖板(4)外侧端上部均固定安装有限位块(9)，所述限位块(9)的内部开设有滑槽(10)，所述滑槽(10)的内部滑动卡接有L形限位件(11)。
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