[实用新型]极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架

摘要

极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，涉及极紫外光光源中收集镜的精加工技术。目的是为了解决收集镜在业加工过程中，换刀易导致收集镜面形发生变化的问题。该双刀刀架的固定结构一为长方体金属块，固定结构二为长条形金属块，长条形金属块的一端固定在固定结构一的一个侧面上，该侧面为接触面，固定结构一的上表面和固定结构二的上表面平齐，固定结构一的厚度大于固定结构二的厚度；固定结构一的上表面开有用于安装刀具的矩形凹槽，且该矩形凹槽的一个侧面延伸至该长方体金属块的与接触面相对的侧面，该凹槽的底面开有两个孔，凹槽的一个侧开有螺纹孔。适用于极紫外光光源中收集镜的精加工。

主权项

极紫外光光源中收集镜精加工的专用双刀刀架，其特征在于，包括固定结构一(1)和固定结构二(2)；所述固定结构一(1)为长方体金属块，所述固定结构二(2)为长条形金属块，该长条形金属块的一端固定在固定结构一(1)的一个侧面上，该侧面称为接触面，固定结构一(1)的上表面和固定结构二(2)的上表面平齐，且固定结构一(1)的厚度大于固定结构二(2)的厚度；所述固定结构一(1)的上表面开有用于安装刀具的矩形凹槽，且该矩形凹槽的一个侧面延伸至该长方体金属块的与接触面相对的侧面，该凹槽的底面开有两个孔，凹槽的一个侧开有螺纹孔。