[实用新型]一种硅片用清洗装置有效
| 申请号： | 201620601094.2 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205868939U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片用清洗装置，包括底座，在所述底座的上表面上加工有若干个用于放置硅片的清洗槽，并在所述底座的上表面上设置有一个用于握持的圆柱杆，在所述底座的下表面设置有多个支撑短柱，所述底座为圆柱形底座，每个清洗槽的深度相同，其深度为底座厚度的二分之一，所述底座和支撑短柱均采用不锈钢材料制成。本实用新型在对硅片进行清洗时，将硅片放置在底座上的清洗槽中，排列放好，然后手持圆柱杆将整个底座放置在水箱中进行清洗，通过设置有支撑短柱，便于放置在水箱中，且结构简单，减少了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片用清洗装置，其特征在于：包括底座(1)，在所述底座(1)的上表面(11)上加工有若干个用于放置硅片的清洗槽(2)，并在所述底座(1)的上表面(11)上设置有一个用于握持的圆柱杆(3)，在所述底座(1)的下表面(12)设置有多个支撑短柱(4)。
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