[实用新型]一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置

摘要

一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括氮气装置、真空冷却箱、排真空回收和发散装置，所述氮气装置包括氮气储存装置、氮气解压装置、调压排送装置，三者依次串联在氮气输送管上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱，两者并列设置，两者之间设置进气分气管，所述真空箱还设置有排气管和交换管，一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置中；排真空回收和发散泵组其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵，3组为空气排真空回收和发散泵，所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管和主排放管上。

主权项

一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，其特征是：包括氮气装置（1）、真空冷却箱（2）、排真空回收和发散装置（3），所述氮气装置包括氮气储存装置（4）、氮气解压装置（5）、调压排送装置（6）,三者依次串联在氮气输送管（7）上，氮气装置和排真空回收和发散装置连接在真空冷却箱上；真空冷却箱包括至少两只真空箱（8），两者并列设置，两者之间设置进气分气管（9），所述真空箱还设置有排气管（10）和交换管（11），一只真空箱与另一只并列设置的真空箱的交换管都连接在它们之间的气体交换装置（12）中，所述气体交换装置，包括气泵（13）和气体暂存仓（14），所述气体交换装置也设置有排气管；所述排气管连接排真空回收和发散装置，所述排气管、交换管、进气分气管上都设置有气泵（15）；所述真空回收和发散装置包括若干组排真空回收和发散泵组（16）、氮气适力装置（17），所述氮气适力装置设置连接在输送真空冷却箱和排真空回收和发散泵组之间，氮气适力装置包括T形分气管（18）和设置在T型输气管左边的压力泵（19），以及右边的适压泵（20）组成，适压泵通过内排送管（21）连接到真空回收和发散装置上，压力泵通过单循环管（22）连接到适压泵；排真空回收和发散泵组其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵（23），3组为空气排真空回收和发散泵（24），所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管（25）和主排放管（26）上。