[实用新型]具有弯钩型振幅放大功能的压电粘滑单自由度运动机构

摘要

一种具有弯钩型振幅放大功能的压电粘滑单自由度运动机构，以解决当前压电粘滑单自由度运动机构由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本实用新型由支撑座、手动调压装置、弯钩式振子、动子组件和进给平台组成。所述弯钩式振子的弯钩式柔性铰链利用轴向刚度分布不均匀既可产生侧向位移，又可增大斜梯式振子与动子组件接触面间的摩擦驱动力，减小接触面间的摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，提升压电粘滑单自由度运动机构的机械输出特性。本实用新型具有结构简单紧凑、易装配、成本低、控制方便、定位精度高以及行程大等特点，可被广泛应用于微操作机器人、半导体加工以及航空航天等微纳精密驱动与定位技术领域。

主权项

一种具有弯钩型振幅放大功能的压电粘滑单自由度运动机构，其特征在于该具有弯钩型振幅放大功能的压电粘滑单自由度运动机构由支撑座（1）、手动调压装置（2）、弯钩式振子（3）、动子组件（4）和进给平台（5）组成；所述手动调压装置（2）固定在支撑座（1）上，所述弯钩式振子（3）安装在支撑座（1）上，所述动子组件（4）固定在支撑座（1）上；所述进给平台（5）固定在动子组件（4）上。