[实用新型]一种监控碳化硅晶体炉温度的装置有效
| 申请号： | 201620557486.3 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN205711036U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 郑清超;段聪;杨昆;刘腾飞 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 郝学江 |
| 地址： | 071051 河北省保定市北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种监控碳化硅晶体炉温度的装置包括监测装置、工业相机、工业镜头、窄通滤光片和衰减片；所述工业镜头安装与工业相机上，所述工业镜头的最前端安装有窄通滤光片，所述窄通滤光片与工业镜头之间设置有衰减片；所述窄通滤光片通过波长800um到1100um的红外光；所述工业相机与监测装置相连。本实用新型所述技术方案的有益效果在于：该装置的应用能有效解决传统技术存在的各项技术缺陷，具有成本低、效率高及能视觉直接观察测温孔情况等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 碳化硅 晶体 炉温 装置 | ||
【主权项】：
一种监控碳化硅晶体炉温度的装置，其特征在于：所述监控碳化硅晶体炉温度的装置包括监测装置、工业相机、工业镜头、窄通滤光片和衰减片；所述工业镜头安装在工业相机上，所述工业镜头的最前端安装有窄通滤光片，所述窄通滤光片与工业镜头之间设置有衰减片，并且，所述窄通滤光片与衰减片的尺寸相同；所述窄通滤光片通过波长800um到1100um的红外光；所述工业相机与监测装置相连，并且，所述工业相机的I/O接口包括数字I/O接口和触发接口，所述工业相机的同步方式为外触发或连续采集。
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