[实用新型]一种监控晶圆有效
| 申请号： | 201620554494.2 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205984978U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王智东;傅俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种监控晶圆，所述监控晶圆包括裸晶圆以及形成于所述裸晶圆上的图形化的膜层。使用本实用新型提供的监控晶圆对机台进行监控检测，可在不改变实际生产线检测设备的本身特性的情况下，提高对监控晶圆的缺陷检出率，从而提高机台的监控灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 | ||
【主权项】：
一种监控晶圆，其特征在于：所述监控晶圆包括裸晶圆以及形成于所述裸晶圆上的图形化的膜层、金属层和缓冲层，所述图形化的膜层形成于所述金属层上，所述金属层形成于所述缓冲层上。
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