[实用新型]坩埚喷涂台有效

专利信息
申请号: 201620542549.8 申请日: 2016-06-03
公开(公告)号: CN206009066U 公开(公告)日: 2017-03-15
发明(设计)人: 吴华兵;苏阳;贾晓飞 申请(专利权)人: 包头市山晟新能源有限责任公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;B05D3/02
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司11438 代理人: 王卫忠,姜燕
地址: 014100 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种坩埚喷涂台,所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部;所述加热部,包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部,且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板,各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板,且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带,所述转臂连接于所述外固定封套。本实用新型能够提高加热效能,降低故障率,缩短喷涂时间,降低成本。
搜索关键词: 坩埚 喷涂
【主权项】:
一种坩埚喷涂台,所述坩埚喷涂台包括支撑板和多个加热部;所述加热部,包括贴设于所述支撑板表面的用于给待喷涂坩埚的底部加热的底部加热部和用于给所述坩埚的四个侧壁加热的侧壁加热部,且至少其中的三个所述侧壁加热部通过转臂连接于所述支撑板,其特征在于:各所述加热部包括外固定封套和整块的不锈钢加热板,且所述不锈钢加热板的加热元件为加热扁带,所述转臂连接于所述外固定封套。
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