[实用新型]一种非接触式高精密晶片面型测量仪器

摘要

本实用新型的一种非接触式高精密晶片面型测量仪器，包括上移动载台和下移动载台，通过竖直上下设置的激光测距感测器，对放置于测量盘内的被测晶片进行测量，激光测距感测器由2组上下设置的测距感测器和一组对应的激光发射、接收器构成，将厚度测量和面型测量相结合，并通过转动分度拨盘、调节上移动载台的方式，以网点、环形采集的方式，采集被测晶片的测量数据，打破了传统的单线和单点的测量方式，降低了测量误差，且测量稳定性高、精度高，从而提高了数据的真实性。

主权项

一种非接触式高精密晶片面型测量仪器，其特征在于，包括工作台底板和激光测距感测器，所述工作台底板呈方形，并水平设置，其所呈的方形的两端设有2个支撑座台，所述支撑座台呈长方体，其所呈的长方体的上端面水平，且2个支撑座台上端面同水平高度，2个支撑座台上分别设有2个第一导轨，所述2个第一导轨平行设置；所述2个支撑座台上设有移动载台，所述移动载台包括上移动载台和下移动载台，所述下移动载台呈长方形，包括两侧的2个滑台和镂空台，所述滑台的下端设有第一滑槽，所述第一滑槽与第一导轨对应配合，实现下移动载台在支撑座台上的水平前后滑动，所述镂空台位于2个滑台之间，滑台和镂空台为一体式结构，镂空台的中部开有垂直的通孔；所述下移动载台的上端面上设有第二导轨，所述第二导轨与第一导轨垂直，所述上移动载台的下端面上设有第二滑槽，所述第二滑槽与第二导轨对应配合，实现上移动载台在下移动载台上的水平左右滑动，上移动载台的中部设有测量盘，其左侧设有分度拨盘，所述测量盘呈圆形，其下端固定设有呈圆形的齿条，其中部开有测量孔，所述测量孔呈圆形，其所呈的圆形的周边设有3个晶片支撑脚，所述3个晶片支撑脚呈三角设置，位于测量孔内，所述测量盘以上移动载台的中心为轴心自由转动，其下端的齿条通过链条与分度拨盘相连，分度拨盘转动带动测量盘转动；所述2个支撑座台的后侧设有横跨2个支撑座台的横梁，所述横梁上第三导轨，所述第三导轨竖直设置，其上设有横杆，所述横杆水平设置，并与第三导轨垂直，其后端设有第三滑槽，所述第三滑槽与第三导轨对应配合，实现横杆在第三导轨上的竖直上下滑动；所述激光测距感测器包括上激光测距感测器和下激光测距感测器，所述上激光测距感测器固定设置于横杆的前端，上激光测距感测器内设有上测距感测器和激光发射器，上测距感测器和激光发射器的感应和发射方向竖直朝下，所述下激光测距感测器固定设置于工作台底板上，位于2个支撑座台之间，下激光测距感测器内设有下测距感测器和激光接收器，下测距感测器和激光接收器的感应和接收方向竖直朝位下。