[实用新型]一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置

摘要

一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座、装载箱，所述底座一侧设有支架，支架上下两端各设有一个伺服电机，伺服电机连接控制器，所述伺服电机经皮带连接固定在支架上端的滚轴，所述滚轴上下两侧各设有一根带有气孔的喷气管，滚轴上设有毛刷，所述喷气管一端连接CDA气管，所述装载箱套装于两个喷气管的外侧，装载箱一端经固定卡扣和可旋转螺丝连接不锈钢门，所述不锈钢门一端设有排气口。解决了基片装载箱清洁难度大的问题，具有清洁效果好、工作效率高、节省劳动力的特点。

主权项

一种薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁装置，包括底座（11）、装载箱（14），其特征在于，所述底座（11）一侧设有支架（13），支架（13）上下两端各设有一个伺服电机（4），伺服电机（4）连接控制器（6），所述伺服电机（4）经皮带（5）连接固定在支架（13）上端的滚轴（1），所述滚轴（1）上下两侧各设有一根带有气孔（3）的喷气管（15），滚轴（1）上设有毛刷（2），所述喷气管（15）一端连接CDA气管（7），所述装载箱（14）套装于两个喷气管（15）的外侧，装载箱（14）一端经固定卡扣（9）和可旋转螺丝（10）连接不锈钢门（16），所述不锈钢门（16）一端设有排气口（12）。