[实用新型]直拉单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种直拉单晶炉，包括了炉体以及位于所述炉体内部的隔热保温筒体、多瓣式加热器、坩埚、坩埚托杆以及热屏，所述热屏整体呈筒状的结构，其筒半径是越往下就越小，并且其筒体外壁上设有呈螺旋式上升结构的气流导向槽，在上述隔热保温筒体的侧壁上缘位置设有上部排气通孔，在上述炉体的侧壁下缘位置设有下部排气通孔，该下部排气通孔与上部排气通孔两者通过位于所述炉体的侧壁与隔热保温筒体的侧壁之间的过气通道相贯通。其解决了直拉单晶炉在使用过程中降低进入固液界面的氧碳含量的技术问题，从而通过上述单晶炉生产得到的成品单晶硅棒在进行切片处理后，每一单晶硅片的光电转换效率好。

主权项

一种直拉单晶炉，包括设有上端开口(2)的炉体(1)，位于所述炉体(1)内的多瓣式加热器(3)、隔热保温筒体(4)和坩埚(5)，与所述坩埚(5)的底部相连接的坩埚托杆(6)，以及盖接在所述炉体(1)的上端开口(2)位置的炉盖(7)，其中所述的隔热保温筒体(4)围成加热炉室(8)，所述多瓣式加热器(3)和坩埚(5)均位于该加热炉室(8)内，并且多瓣式加热器(3)围设在坩埚(5)周圈，所述炉体(1)的底部开设有用于往上述加热炉室(8)内通入氩气的通孔(9)，所述坩埚托杆(6)的另一端贯穿该通孔(9)并延伸至炉体(1)外；其特征是上述加热炉室(8)内还设有热屏(10)，在上述隔热保温筒体(4)的上部开口沿面上加设有用于固定该热屏(10)的安装支架(11)，上述热屏(10)的一侧端部固定在该安装支架(11)上，其另一侧端部延伸进入至坩埚(5)内，所述热屏(10)整体呈筒状的结构，其筒半径是越往下就越小，并且其筒体外壁上设有呈螺旋式上升结构的气流导向槽(12)，在上述隔热保温筒体(4)的侧壁上缘位置设有上部排气通孔(13)，在上述炉体(1)的侧壁下缘位置设有下部排气通孔(14)，该下部排气通孔(14)与上部排气通孔(13)两者通过位于所述炉体(1)的侧壁与隔热保温筒体(4)的侧壁之间的过气通道(15)相贯通。