[实用新型]一种下部排气的多晶硅铸锭炉热场结构

摘要

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供一种下部排气的多晶硅铸锭炉热场结构。该种下部排气的多晶硅铸锭炉热场结构包括炉体、隔热笼、石墨护板、定向散热块、散热块进出气冷却管、石墨支撑柱、石英坩埚、加热器和下排气抽气管。在本实用新型中，氩气作为保护气，从顶部石墨导气管进入热场内部并从底部抽出热场，在顶部充气和底部抽气双重压差作用下，氩气可带着各种氧化物杂质气体直接从隔热笼内部的下排气抽气管路直接抽走，形成顺畅的定向气流通道，避免出现紊流现象；而且抽气的整个过程，气体都在高温区流动，未经过低温区，因此氧化物不会在热场内堆积。

主权项

一种下部排气的多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体，其特征在于，还包括隔热笼、石墨护板、定向散热块、散热块进出气冷却管、石墨支撑柱、石英坩埚、加热器和下排气抽气管；所述隔热笼吊装在炉体内，定向散热块通过石墨支撑柱安装在炉体中的隔热笼内，定向散热块为中空结构的散热块；所述散热块进出气冷却管包括进气管和出气管，分别连通定向散热块的内部和炉体外部，用于实现定向散热块的内部通气冷却；所述石墨护板为石墨板拼接成箱型结构的石墨护板，安装在定向散热块的上表面；所述石英坩埚安装在石墨护板内，用于填装硅料和承载硅溶液；所述加热器安装在炉体中，并将石墨护板罩于加热器外；所述氩气进气管的一端伸入到石墨护板内加热器的上方，另一端连通炉体外，用于保护性氩气从上炉体顶部进入热场内；所述下排气抽气管的一端伸入到炉体中隔热笼内定向散热块的下方，另一端设置在炉体外，下排气抽气管连通炉体内外，用于氩气从下炉体下部抽出。