[实用新型]一种增量式小量程位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种增量式小量程位移传感器，该传感器包括激光束、两块反射镜间、分布式光电探测器和处理系统。运用该传感器，通过激光束在一组平行设置的两块反射镜间不断反射，最终照射到分布式光电探测器上，改变两块反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，分布式光电探测器上的探测部件一、探测部件二和探测部件三多次感应激光束，处理系统根据探测部件接收到激光束的次数以及探测部件间的间距处理得到一个探测值，这个探测值大于两块反射镜间距的真实改变值，处理系统能够通过这个探测值来计算出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，适用于被测物体位移变化的测量，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

主权项

一种增量式小量程位移传感器，其特征在于，包括激光束(11)、两块反射镜、分布式光电探测器(5)和处理系统，所述分布式光电探测器(5)设有固定间距的探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)，所述探测部件三(53)设于所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间的任意位置，两块所述反射镜平行设置并且能够相对移动，所述激光束(11)与分布式光电探测器(5)相对设置在两块所述反射镜两端，所述激光束(11)入射到其中一块所述反射镜上，经过两块所述反射镜交替反射后，出射到所述分布式光电探测器(5)，并被所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应，所述处理系统用于计算处理所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)接收到所述激光束(11)的次数和感光顺序。