[实用新型]一种单晶硅的加热装置有效
| 申请号： | 201620458630.8 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN205653537U | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李爱萍 | 申请（专利权）人： | 云南三奇光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 675899 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅的加热装置，包括用于盛装单晶硅原料的石英坩埚以及炉体，所述炉体的顶部设有封盖，还包括用于将石英坩埚输送至炉体内部的输送机构，所述石英坩埚的外表面上设有多个挂钩，所述输送机构包括两个相对布置的输送单元，所述输送单元包括：动力轮，固定于炉体上方的固定滑轮，与固定滑轮以及动力轮相配合的吊绳，所述吊绳上设有与挂钩相配合的吊环，用于驱动动力轮转动的驱动机构。本实用新型操作方便，便于将石英坩埚放入炉体内进行加热升温，同时也便于从炉体中取出石英坩埚，大大提高了单晶硅的制备效率，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶硅的加热装置，包括用于盛装单晶硅原料的石英坩埚(2)以及炉体(1)，所述炉体(1)的顶部设有封盖(11)，其特征在于，还包括用于将石英坩埚(2)输送至炉体(1)内部的输送机构，所述石英坩埚(2)的外表面上设有多个挂钩(21)，所述输送机构包括两个相对布置的输送单元，所述输送单元包括：动力轮(3)，固定于炉体(1)上方的固定滑轮(4)，与固定滑轮(4)以及动力轮(3)相配合的吊绳(5)，所述吊绳(5)上设有与挂钩(21)相配合的吊环，用于驱动动力轮(3)转动的驱动机构(6)。
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