[实用新型]LTCC光纤法珀高温压力传感器及传感系统有效
| 申请号： | 201620450511.8 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN205679342U | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 贾平岗;熊继军;田晓丹;刘佳;李哲 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 骆洋 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器及传感系统，该传感器主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本实用新型采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座，用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内，采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接，使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔，通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化，从而进行压力测量。本实用新型解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外，采用光纤传输可以隔绝高温，消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下，所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。 | ||
| 搜索关键词： | ltcc 光纤 高温 压力传感器 传感 系统 | ||
【主权项】：
一种LTCC光纤法珀高温压力传感器，其特征在于：包括陶瓷基座（1）、陶瓷插芯（2）、尾柄（3）和光纤（4）；陶瓷基座（1）内设有内腔（5），内腔（5）与陶瓷基座（1）底面之间形成陶瓷压力敏感膜片（6）；陶瓷插芯（2）固定于陶瓷基座（1）上，且陶瓷插芯（2）的底部伸至内腔（5）中；尾柄（3）固定于陶瓷插芯（2）的顶部，光纤（4）固定于陶瓷插芯（2）及尾柄（3）中；陶瓷插芯（2）及光纤（4）的出光面与陶瓷压力敏感膜片（6）平行放置构成法珀腔（7）；陶瓷基座（1）、内腔（5）、陶瓷压力敏感膜片（6）、陶瓷插芯（2）、尾柄（3）和光纤（4）都位于同一轴线上。
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