[实用新型]一种扩散炉暂存区冷却装置有效
| 申请号： | 201620447925.5 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN205784628U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 肖岳南;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司44247 | 代理人： | 胡朝阳;尹彦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟的暂存区、设置暂存区外的风机、设置在各暂存区下方的吹风支管、将所有吹风支管连接至风机的出风口的通风主管道，吹风支管上排列设有开口朝上的通风孔。本实用新型通过吹风的方式进行散热，快速有效的降低载片舟及硅片的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 暂存 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟（5）的暂存区（1），其特征在于，还包括：设置暂存区（1）外的风机（2）、设置在各暂存区（1）下方的吹风支管（3）、将所有吹风支管（3）连接至所述风机（2）的出风口的通风主管道（4），所述吹风支管（3）上排列设有开口朝上的通风孔。
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