[实用新型]一种可以均匀散热的多晶铸锭炉有效
申请号: | 201620443420.1 | 申请日: | 2016-05-17 |
公开(公告)号: | CN205741277U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 黄辉;吕亚洲 | 申请(专利权)人: | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 谢德珍 |
地址: | 332000 江西省九*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种可以均匀散热的多晶铸锭炉,包括壳体,所述壳体内设有底座,底座上设有石墨支柱,石墨支柱上设有热场散热板,所述热场散热板四周设有边部保温条,热场散热板内设有若干个呈中心对称均匀分布的散热孔,热场散热板上设有DS块,所述DS块底部设有6个圆周阵列的螺纹孔,DS块上设有保温条,所述保温条上设有坩埚,坩埚外设有隔热笼。本装置通过改善温度梯度分布,提高热场的排杂性能,降低多晶硅锭的杂质和阴影比例1~2%,得率提升1~2%,具有热场散热更均匀、保温性能更好、铸锭能耗低的特点。 | ||
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【主权项】:
一种可以均匀散热的多晶铸锭炉,包括壳体(1),所述壳体(1)内设有底座(8),底座(8)上设有石墨支柱(7),石墨支柱(7)上设有热场散热板(5),其特征在于,所述热场散热板(5)四周设有边部保温条(11),热场散热板(5)内设有若干个呈中心对称均匀分布的散热孔(9),热场散热板(5)上设有DS块(4),所述DS块(4)底部设有6个圆周阵列的螺纹孔,DS块(4)上设有保温条(6),所述保温条(6)上设有坩埚(2),坩埚(2)外设有隔热笼(3)。
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