[实用新型]电容传感装置

摘要

一电容传感装置(300)包括耦合于多个串联电容组(C₀1，C₀2)的多个感测电路(310，510)。串联电容组(C₀2)中的每个电容(C31，C41)具有设置于一微扫描器(100，200)的一扫描板(40)或一平衡环(70)上一可动电极(431，441)和设置于一基底(10)中一腔体(20)的一侧壁(30)上的固定电极(131，142)。扫描版(40)或平衡环(70)的偏转导致串联电容组(C₀1，C₀2)电容值的变化。多个感测电路(310，510)输出对应于串联电容组(C₀1，C₀2)电容的多个电压值。电容传感装置(300)的输出信号为一反馈电路提供扫描器(100，200)投射激光束的角度信息。

主权项

一电容传感装置，其位于一微扫描器内，所述微扫描器具有位于一基底的一腔体内的一扫描板，所述腔体具有包围所述扫描板的一侧壁，所述扫描板具有一第一表面及相对于所述第一表面的一第二表面，并设定为响应一驱动以绕一第一轴转动和与所述第一轴垂直的一第二轴转动，其特征在于所述电容传感装置包括：一第一电容，其包括：一可动电极，设置于所述扫描板的所述第一表面上，位于所述第一轴的一第一边距所述第一轴一距离处；及一固定电极，设置于所述基底腔体的所述侧壁上并邻近所述可动电极，并与所述可动电极在所述扫描板静止或转动过程中具有一定的覆盖面积；一第二电容，其包括：一可动电极，设置于所述扫描板的所述第二表面上，位于所述第一轴的与所述第一边相对的一第二边，并距所述第一轴一距离处；及一固定电极，设置于所述基底腔体的所述侧壁上并邻近所述可动电极，并与所述可动电极在所述扫描板静止或转动过程中具有一定的覆盖面积；一第一导电体，耦合于所述第一电容的所述可动电极与所述第二电容的所述可动电极，使得所述第一电容与所述第二电容构成一第一串联电容组，及一第一感测电路，其具有一第一输入端，一第二输入端及一输出端，所述第一输入端与所述第二输入端分别耦合于所述第一电容的所述固定电极及所述第二电容的所述固定电极，所述感测电路设定为产生对应于所述第一串联电容组的一电容值的一第一电压值至所述输出端。