[实用新型]一种微探针加工成形系统

摘要

本实用新型公开了一种微探针加工成形系统，涉及微探针加工制造领域。该系统包括微探针毛坯拉制装置和微探针尖端热成形装置两部分。所述的微探针毛坯拉制装置主要包括支撑模块、进给模块、夹持模块和加热模块，能够根据需要拉制出具有不同锥角和长‑径比的微探针毛坯。所述的微探针尖端热成形装置主要包括CO2激光器、合束镜、红光指示器、聚焦镜、位移平台、支架，可以对微探针毛坯尖端进行加热成形。利用该系统制备微探针时，能够简化操作流程，节省操作时间，不易使探针尖端遭受环境污染，提高探针的形貌质量，满足微细加工及精密测量对微探针几何精度的要求。

主权项

一种微探针加工成形系统，其特征是：包括微探针毛坯拉制装置和微探针尖端热成形装置；所述的微探针毛坯拉制装置主要包括支撑模块、进给模块、夹持模块和加热模块；支撑模块连接进给模块，进给模块连接夹持模块；所述的微探针尖端热成形装置主要包括CO2激光器(4‑1)、合束镜(4‑2)、红光指示器(4‑3)、聚焦镜(4‑4)、位移平台(4‑5)、支架(4‑6)；所述的激光器(4‑1)、合束镜(4‑2)和聚焦镜(4‑4)的中心位于Y轴上且沿Y轴依次排列，所述的红光指示器(4‑3)位于合束镜(4‑2)的正下方，所述的位移平台(4‑5)上固定连接有支架(4‑6)位于聚焦镜(4‑4)的右侧。