[实用新型]一种用于晶片的抛光夹具有效
| 申请号： | 201620423875.7 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN205734440U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘连贵 | 申请（专利权）人： | 浙江台佳电子信息科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B29/02 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 317000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶片的抛光夹具，包括基座、和设置于所述基座上固定槽，所述固定槽的形状与待抛光晶片相适应，在所述固定槽的边缘设置有至少一个凹槽，所述固定槽和凹槽均贯穿基座的上表面和下表面，使抛光设备进行抛光工作时，抛光夹具均匀得放置在研磨盘上，待抛光晶片放置于固定槽内，降下上盘，供给抛光液，抛光粉液通过凹槽使待抛光的晶片的上表面和下表面与抛光粉液充分接触，这样保证了抛光时怕光粉液的充分作用，大大提高了晶片的抛光率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶片 抛光 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于晶片的抛光夹具，其特征在于，包括基座、和设置于所述基座上固定槽，所述固定槽的形状与待抛光晶片相适应，在所述固定槽的边缘设置有至少一个凹槽，所述固定槽和凹槽均贯穿基座的上表面和下表面。
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