[实用新型]一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器

摘要

本实用新型公开了一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器，包括真空室，所述真空室的左右两侧设置有靶，所述数据显示器的左下方安装有电压调节旋钮，所述电压调节旋钮的下方设置有通电时间控制旋钮，所述电压调节旋钮的右侧安装有电源接口，所述电源接口的右侧设置有电压出口，所述控制面板与电极是通过电性连接。本实用新型采用了脉冲磁控溅射法镀膜，在装置下部设置有控制面板，可以很精确稳定的控制电压和时间，从而精确控制镀膜的厚度，使石英晶体的电极膜得到精确的控制，从而使振动效果好，且在装置内设置有转向架，可以随意改变方向。

主权项

一种基于脉冲磁控溅射法石英晶体谐振器，包括真空室（1），其特征在于：所述真空室（1）的左右两侧设置有靶（3），所述靶（3）的左侧安装有电极（2），所述电极（2）的左侧设置有电压进口（4），所述电极（2）的上下方设置有沉淀池（5），所述沉淀池（5）的下方安装有石英晶片（6），所述石英晶片（6）上设置有镀膜（16），所述真空室（1）的内部设置有转向架（10），所述转向架（10）的下方安装有转向架驱动器（12），所述真空室（1）的下方的左侧设置有出气口（7），所述真空室（1）的下方的右侧安装有进气口（11），所述转向架驱动器（12）的下方设置有控制面板（17），所述控制面板（17）上设置有数据显示器（13），所述数据显示器（13）的左下方安装有电压调节旋钮（8），所述电压调节旋钮（8）的下方设置有通电时间控制旋钮（9），所述电压调节旋钮（8）的右侧安装有电源接口（14），所述电源接口（14）的右侧设置有电压出口（15），所述控制面板（17）与电极（2）是通过电性连接。