[实用新型]多晶硅铸锭炉及应用于多晶硅铸锭炉内的装置有效
申请号: | 201620384743.8 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN205529143U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 罗丁;李林东;肖贵云;陈伟;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉及应用于多晶硅铸锭炉内的装置,所述装置包括:坩埚;设置在所述坩埚侧部周围的石墨护板;设置在所述坩埚外侧表面与炉内侧加热器之间的耐高温隔热层,所述耐高温隔热层的底端边与所述坩埚底部对齐。基于所述耐高温隔热层的隔热作用,能够阻挡侧加热器对坩埚底端侧部的直接热量辐射,可以降低坩埚内底部边缘与中心的温度梯度,使坩埚内边缘与中心温度升高均匀,从而使坩埚内底部热场均匀,有助于保持在硅料熔化阶段坩埚底部籽晶的完整性,与现有技术相比,能够降低成本,提高晶体质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 应用于 装置 | ||
【主权项】:
一种应用于多晶硅铸锭炉内的装置,其特征在于,包括:坩埚;设置在所述坩埚侧部周围的石墨护板;设置在所述坩埚外侧表面与炉内侧加热器之间的耐高温隔热层,所述耐高温隔热层的底端边与所述坩埚底部对齐。
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