[实用新型]多晶硅铸锭炉及应用于多晶硅铸锭炉内的装置有效

专利信息
申请号: 201620384743.8 申请日: 2016-04-29
公开(公告)号: CN205529143U 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 罗丁;李林东;肖贵云;陈伟;金浩 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉及应用于多晶硅铸锭炉内的装置,所述装置包括:坩埚;设置在所述坩埚侧部周围的石墨护板;设置在所述坩埚外侧表面与炉内侧加热器之间的耐高温隔热层,所述耐高温隔热层的底端边与所述坩埚底部对齐。基于所述耐高温隔热层的隔热作用,能够阻挡侧加热器对坩埚底端侧部的直接热量辐射,可以降低坩埚内底部边缘与中心的温度梯度,使坩埚内边缘与中心温度升高均匀,从而使坩埚内底部热场均匀,有助于保持在硅料熔化阶段坩埚底部籽晶的完整性,与现有技术相比,能够降低成本,提高晶体质量。
搜索关键词: 多晶 铸锭 应用于 装置
【主权项】:
一种应用于多晶硅铸锭炉内的装置,其特征在于,包括:坩埚;设置在所述坩埚侧部周围的石墨护板;设置在所述坩埚外侧表面与炉内侧加热器之间的耐高温隔热层,所述耐高温隔热层的底端边与所述坩埚底部对齐。
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