[实用新型]一种可移动的SiC生长坩埚平台有效
申请号: | 201620384192.5 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN205711035U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 宗艳民 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 苗峻 |
地址: | 250118 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请涉及SiC生产技术领域,具体为一种可移动的SiC生长坩埚平台。该装置在石墨块的底部设置轨道,在防治石墨块的不锈钢底座顶部设置轨道,使得两处的轨道形成轨道副,所以石墨块可以在不锈钢底座上滑行,这为石墨块的移动极大地节省了人力。 | ||
搜索关键词: | 一种 移动 sic 生长 坩埚 平台 | ||
【主权项】:
一种可移动的SiC生长坩埚平台,其特征在于,包括第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3),所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)相对的两侧通过两个弹性锁扣件(2)连接在一起;所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)放置在不锈钢底座(5)上,且不锈钢底座(6)的顶部和石墨块的底部设有导轨(4)。
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