[实用新型]一种自动高温扩散装置

摘要

本实用新型公开了一种自动高温扩散装置，包括预热仓，所述气缸通过连接杆连接有贯穿预热仓和炉管的固定架，且所述固定架的上部和下部内腔分别设有进气管和排气管，该自动高温扩散装置通过气缸连接的连接杆带动固定架，以实现预热仓和炉管可以同时实现温度扩散，以便于达到设备的需求，固定架上下部内腔设有的进气管和排气管可以随着固定架移动，进气管和排气管右侧设有的进气孔和排气孔也可以同时进行工作，且排气孔还可以排出预热仓内腔的杂质，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害，使得气体可以通过排气管上的排气孔快速排放，本装置优势明显，值得以后推广使用。

主权项

一种自动高温扩散装置，包括预热仓（11），其特征在于：所述预热仓（11）的内腔设有炉管（12），所述炉管（12）的内腔中部安装有加热仓（10），所述加热仓（10）的内腔上端安装有石英舟（9），所述石英舟（9）的上端安装有硅片（8），所述预热仓（11）的外侧安装有气缸（1），所述气缸（1）通过连接杆（3）连接有贯穿预热仓（11）和炉管（12）的固定架（5），所述固定架（5）呈C字型，且所述固定架（5）的上部和下部内腔分别设有进气管（2）和排气管（4），所述进气管（2）的右侧设有进气孔（7），所述进气孔（7）位于硅片（8）的正上方，所述排气管（4）的右侧设有排气孔（6），所述预热仓（11）的内腔底端一侧设有出气口（13）。