[实用新型]多方向宽频压电MEMS振动能量采集器

摘要

多方向宽频压电MEMS振动能量采集器，包括基座、多个压电悬臂梁、微弹簧、弹簧底座、永磁铁、软磁铁。所述的压电悬臂梁由下电极层、环氧树脂粘接层、压电厚膜层、上电极层和支撑层组成；压电悬臂梁阵列在基座空腔位置均匀布置，且每个压电悬臂梁的一端固定在基座上，另一端悬空，软磁铁固定于悬臂梁的悬空端；微弹簧上端与永磁铁连接，下端固定在弹簧底座上；基座与弹簧底座通过粘接连接，微弹簧位于基座空腔中心位置，且其上永磁铁与压电悬臂梁上的软磁铁在垂直方向上保持一定的距离。本实用新型实现了多方向宽频振动能量的有效采集，能够实现加工工艺与MEMS技术相兼容，具有能量转换效率高、运行频带宽、制造工艺简单和成本低等特点。

主权项

多方向宽频压电MEMS振动能量采集器，其特征在于，包括：基座、多个压电悬臂梁、微弹簧、弹簧底座、永磁铁、软磁铁，其中：压电悬臂梁在基座空腔位置均匀布置，且每个压电悬臂梁的一端固定在基座上，另一端悬空，软磁铁固定于悬臂梁的悬空端；微弹簧上端与永磁铁连接，下端固定在弹簧底座上；基座与弹簧底座通过粘接连接，微弹簧位于基座空腔中心位置，且其上永磁铁与压电悬臂梁上的软磁铁在垂直方向上保持一定距离；所述的压电悬臂梁包括：下电极层、环氧树脂粘接层、压电厚膜层、上电极层，以及支撑层。