[实用新型]一种利用应变片测量微通道气体分布式压力的装置有效
| 申请号： | 201620312000.X | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN205538072U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 汪兵;王昊利;韩威俊 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种利用高灵敏度应变片的微通道气体分布式压力的测量装置，该装置包括标准压力源、注射泵、PMMA芯片、多通道应变仪和计算机；PMMA芯片由上下两层PMMA基板组成；下层PMMA基板上加工长直流道，在长直流道两侧加工若干大小相等、均匀分布且与长直流道连通的方腔；在上层PMMA基板上与方腔对应位置设置矩形孔，矩形孔上密封粘贴电阻应变片；当气体流经流道时，流速稳定后会对应变片产生压力从而使应变片产生相应的微应变，利用多通道应变仪测量来自应变片的应变值。由于该测量装置中应变片和多通道应变仪的灵敏度和精度都能达到很高，所以能够准确的测量出微通道中气体压力的数值和分布特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 应变 测量 通道 气体 分布式 压力 装置 | ||
【主权项】：
一种利用应变片测量微通道气体分布式压力的装置，其特征在于，该装置包括标准压力源(1)、注射泵(10)、PMMA芯片(3)、多通道应变仪(8)和计算机(9)；所述PMMA芯片(3)由上下两层PMMA基板键合密封而成；下层PMMA基板上加工长直流道(12)，在长直流道(12)两侧加工若干大小相等、均匀分布且与长直流道(12)连通的方腔(11)；在上层PMMA基板上与方腔(11)对应位置设置矩形孔，矩形孔上密封粘贴电阻应变片(5)；所述长直流道(12)的两端分别设有流道进口(4)和流道出口(6)；所述标准压力源(1)或注射泵(10)通过气体导管(2)连通流道进口(4)；所述电阻应变片(5)通过应变片引线(7)连接多通道应变仪(8)，多通道应变仪(8)连接计算机(9)。
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